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真空镀钛设备的均匀膜厚效果很重要

发表时间:2016-11-26 09:13  责任编辑:济南瑞福不锈钢乐仑彩票  点击:

  真空镀钛设备的均匀膜厚效果很重要

        真空镀钛设备的均匀膜厚效果很重要,下面随济南镀钛小编一起来看一下:

  真空镀钛设备制作的膜层厚度均匀性,是指在光学薄膜的尺度上真空镀钛的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀钛没有任何障碍,如果是指原子层尺度上的均匀度,是现在真空镀钛中主要的技术含量与技术瓶颈。

  蒸发沉积镀膜和溅射沉积镀膜, 一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面。均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。

  而对于溅射镀膜来说,利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。溅射镀膜中的激光溅射镀膜组分均匀性容易保持,而晶生长的控制也比较一般。靶材与基片的晶格匹配程度、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。对于不同的溅射材料和基片,佳参数需要实验确定,是各不相同的,镀膜设备的好坏主要在于能否精确控温,能否保证好的真空度,已经比较好的解决了如上所属的问题,工业生产上比较常用的一体式镀膜机主要以离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜为主。

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